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半导体厂房供配电设计手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、设计原则与总体要求 3
二、厂房负荷分类与供电等级 5
三、供电电源与供电系统架构 11
四、变配电站规划与布置 13
五、高低压配电系统设计 18
六、洁净生产区供电设计 22
七、关键工艺设备供电设计 24
八、应急电源与备用电源系统 28
九、不间断电源系统设计 31
十、接地与等电位联结 35
十一、防雷与电涌保护 38
十二、电能质量与谐波治理 40
十三、电缆线路与配电设备选型 42
十四、监控保护与自动化系统 46
十五、调试验收与运行
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