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电子洁净厂房建设工程设计方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、工程概况 5
三、设计标准与规范 8
四、厂区总体布置 10
五、洁净室平面设计 13
六、空气净化系统设计 18
七、暖通空调系统设计 20
八、给排水系统设计 22
九、供配电系统设计 25
十、照明系统设计 28
十一、弱电与自控系统设计 33
十二、工艺管道系统设计 36
十三、消防系统设计 39
十四、防静电与接地系统设计 41
十五、噪声与振动控制设计 46
十六、节能环保设计 48
十七、施工安装技术要求 52
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