原创力文档《超高纯氘气(99.9995%)纯化与
质量控制要求》
编制说明
中国电子装备技术开发协会
2026年7月
一、任务来源，起草单位，协作单位，主要起草人
（一）任务来源
氘气（D₂）是由氘原子构成的双原子分子气体，是稳定同位素
气体家族中最具工业价值的品种之一，广泛应用于半导体集成电路制
造、光纤制备、医药化学标记、核磁共振分析、科研实验及同位素标
记等领域。随着我国高端制造业和
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