碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 悬臂桨.docxVIP

碳化硅特种制品反应烧结碳化硅悬臂桨

1.范围

本文件规定了反应烧结碳化硅悬臂桨的术语和定义、产品分类与型号、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存要求。

本文件适用于以反应烧结碳化硅（RB-SiC）为原料制造的、用于半导体及光伏行业卧式扩散炉、氧化炉、LPCVD设备中承载硅片舟的悬臂式承载桨（以下简称悬臂桨）。其他工业窑炉用碳化硅悬臂支撑件可参照执行。

2.规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T1966多孔陶瓷显气孔率、容量试验方法

GB/T2997致密定形耐火制品体积密度、显气孔率和真气孔率试验方法

GB/T3075金属材料疲劳试验轴向力控制方法

GB/T4741陶瓷材料抗弯强度试验方法

GB/T5588石墨电极材料试验方法

GB/T9969工业用产品使用说明书总则

GB/T13306标牌

GB/T16534精细陶瓷弹性模量试验方法弯曲振动法

GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法

GB/T16536精细陶瓷高温弯曲强度试验方法

GB/T19669精细陶瓷（先进陶瓷、先进技术陶瓷）