原创力文档2026年薄膜材料与技术产业技术趋势题
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MEMS微机电系统技术的可拉伸薄膜传感器B具有高选择性和灵敏度的化学生物气敏薄膜C利用透明电薄膜作为基础开发的力压力传感器D主动式发光薄膜在视觉或触觉反馈传感器中的应用以下哪些因素是限制薄膜材料在高端应用领域如先进半体高性能光学器件广泛使用
一、选择题（请选出最符合题意的选项）
1.下列哪种薄膜制备技术通常能够获得原子级厚度控制和高纯度薄膜，特别
适用于制备高性能半导体薄膜？
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