IEC 62047-42-2022 半导体器件 微机电器件 第42部分：压电MEMS悬臂的机电转换特性的测量方法 标准立项发展报告.docxVIP

半导体器件微机电器件第42部分：压电MEMS悬臂的机电转换特性的测量方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SemiconductorDevices-Micro-electromechanicalDevices-Part42:MeasurementMethodsofElectro-mechanicalConversionCharacteristicsofPiezoelectricMEMSCantilever

摘要

随着微机电系统（MEMS）技术在消费电子、汽车电子、生物医疗和工业传感等领域的广泛应用，压电MEMS器件因其优异的机电耦合性能、低功耗驱动特性和高灵敏度传感能力，已成为MEMS技术发展的重要方向。压电MEMS悬臂作为典型的微执行器与微传感器结构单元，其机电转换特性的准确测量对于器件设计验证、性能评估和产业化应用具有关键意义。然而，在IEC62047-42国际标准发布之前，国际上缺乏统一、规范的压电MEMS悬臂机电转换特性测量方法，不同研究机构和企业在测试条件、测量原理和数据表征方面存在显著差异，导致测试结果缺乏可比性，严重制约了压电MEMS器件的技术交流与国际贸易。

国际电工委员会（IEC）第47技术委员会（TC47）半导体器件技术委员会下属的微机电系统分委会（SC47F）