原创力文档《高功率直流电源》
编制说明
团标制定工作组
二○二六年八月
一、工作简况
（一）任务来源
高功率直流电源广泛应用于工业磁控溅射等工业场景，是磁
控溅射镀膜工艺的核心供电装备，主要完成电能变换，为溅射工
艺提供稳定的直流电能，产品功率等级20kW以上、输出电压可
达1000
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