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洁净车间压缩空气油水污染处置方案

一、总则

压缩空气是洁净车间生产体系中与产品直接或间接接触的关键工艺介质。一旦压缩空气系统发生油水污染，污染将在数分钟至数小时内沿管网扩散至全部用气终端，造成批量产品报废、洁净环境破坏、设备气动元件损坏三重损失。本方案的核心立场是：油水污染处置的关键不在事后抢修，而在污染进入洁净区之前的阻断与隔离——必须在污染物抵达用气终端之前完成系统切断，否则处置成本将呈指数级放大。

1.1适用范围

本方案适用于洁净车间压缩空气系统（空压机→储气罐→干燥器→过滤器→洁净区管网→用气终端）发生油水污染事件的应急处置、系统恢复、原因排查及预防改进。适用场景包括但不限于：空压机润滑油窜入气路、干燥器失效导致液态水析出、过滤器击穿或旁通、外部气源切换引入污染、管网冷凝水倒灌、维修作业后管路未吹扫干净即投用。

1.2处置原则

先隔离、后处置：发现污染的第一动作是关闭向洁净区供气的主阀，而非排查原因。每延迟1分钟，污染气就多扩散约20~40米管网（按流速8~15m/s估算）。

分级响应、按污染边界定方案：污染发生在空压站内与污染已进入洁净区管网，处置深度和验证范围完全不同。

证据保全优先于恢复供气：在未完成污染源锁定和取样分析前，不得恢复供气。污染样品、过滤器滤芯、干燥器运行记录必须留存。

恢复供气必须经过验证放行：任何级别的污染处置后