CN118938242A 基于模型配准的光刻胶表面平整度检测方法及系统 （长沙韶光芯材科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118938242A

(43)申请公布日2024.11.12

(21)申请号202411411806.X

(22)申请日2024.10.11

(71)申请人长沙韶光芯材科技有限公司

地址410129湖南省长沙市芙蓉区长榔路

88号

申请人韶光芯材（浏阳）科技有限公司

(72)发明人李弋舟谢颖

(74)专利代理机构长沙三七知识产权代理事务

所(普通合伙)43287

专利代理师段红玉

(51)Int.Cl.

G01S17/42(2006.01)

G01B11/30(2006.01)

G06T5/70(2024.01)

G06T3/40