CN118943886A 一种用于VCSEL芯片制造的湿法氧化孔径控制方法 (江苏永鼎股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-11-02 发布于重庆
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CN118943886A 一种用于VCSEL芯片制造的湿法氧化孔径控制方法 (江苏永鼎股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118943886A

(43)申请公布日2024.11.12

(21)申请号202411424232.X

(22)申请日2024.10.12

(71)申请人江苏永鼎股份有限公司

地址215200江苏省苏州市吴江区汾湖高

新区国道路1788号

(72)发明人周莉李晶倪春丽沈锋

钱兴其

(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代

理事务所(普通合伙)32257

专利代理师李志鹏

(51)Int.Cl.

H01S5/183(2006.01)

G05B19/418(2006.01)

权利要

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