GB_T 48345-2026硅衬底氮化镓外延片技术要求与HEMT器件应用指南.docx

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GB/T48345-2026硅衬底氮化镓外延片技术要求与HEMT器件应用指南

本文梳理GB/T48345-2026中硅衬底氮化镓外延片的核心技术指标、测试方法与质量管控要求，结合HEMT功率器件制造场景，明确外延片从衬底选型、生长工艺、性能测试到器件应用的全流程关键控制点。该标准填补了国内硅基氮化镓外延片标准化空白，可为功率器件厂商的来料检验、工艺优化与供应链选型提供可落地的技术依据，覆盖从6英寸到8英寸主流量产规格的全链条质量评价逻辑。

标准适用范围与核心定义

GB/T48345-2026由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口，适用于制造HEMT功率器件的硅衬底氮化镓