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GB/T48345-2026硅衬底氮化镓HEMT外延片技术要求与采购落地指南

GB/T48345-2026《用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片》于2026年3月发布、2026年10月实施，是国内首个针对功率级GaN-on-Si外延片的统一技术规范。标准以300mm量产需求为核心，明确了从衬底预处理、缓冲层、势垒层到表面钝化的全流程参数要求，以及与HEMT器件性能直接绑定的质量判定规则。本文拆解标准的核心条款、测试方法与量产验证逻辑，结合外延厂、器件厂的实际使用场景，梳理从采购入厂到器件流片的全流程合规要点，帮助产业链各方对齐技术语言、降低选型与验收成本。

标准定位与适用