《半导体厂务项目工程管理》课件——1.半导体厂务项目工程管理概述.pptxVIP

半导体厂务项目工程管理

半导体厂务项目工程管理概述

1半导体产业概述

【相关知识】半导体产业链

【相关知识】半导体产业链

半导体产业链的上游主要包括半导体材料和设备的供应。

（1）半导体材料

①硅片：硅片是半导体制造中最常用的基材，其纯度要求极高，通常达到99.999999999%（11个9）。硅片按尺寸可分为6英寸、8英寸、12英寸等，其中12英寸硅片已成为主流。

【相关知识】半导体产业链

（1）半导体材料

②光刻胶：光刻胶是光刻工艺中的关键材料，用于将掩膜版上的图形转移到硅片上。光刻胶的性能直接影响到芯片的制造精度和良率。

③电子特气：电子特气包括高纯氮、高纯氧、高纯氩等，用于半导体制造过程中的氧化、扩散、刻蚀等工艺。

④化学试剂：包括湿电子化学品、抛光液等，用于半导体制造过程中的清洗、抛光等步骤。

【相关知识】半导体产业链

（1）半导体材料

【相关知识】半导体产业链

（2）半导体设备

半导体设备是半导体制造的关键工具。

①光刻机：是半导体制造中最核心的设备之一，用于将掩膜版上的图形精确转移到硅片上。光刻机的精度直接影响到芯片的制造精度。

【相关知识】半导体产业链

（2）半导体设备

②刻蚀机：用于将硅片上不需要的部分去除，形成电路图形。刻蚀机分为干法刻蚀和湿法刻蚀两种。

③薄膜沉积设备：用于在硅片上沉积金属、氧化物等薄膜材料，形成电路的各种元件。

④离子注入机：于将掺杂原子注