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CN119086572A 一种基于圆形检测区域的掩膜版缺陷检测的方法 （江苏维普光电科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-11-04 发布于重庆
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CN119086572A 一种基于圆形检测区域的掩膜版缺陷检测的方法 （江苏维普光电科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119086572A

    (43)申请公布日2024.12.06

    (21)申请号202411428196.4

    (22)申请日2024.10.14

    (71)申请人江苏维普光电科技有限公司

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