CN119065211A 基于逐步回归的光刻工艺窗口分析方法、装置和设备 (浙江大学).pdfVIP

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  • 2026-11-04 发布于重庆
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CN119065211A 基于逐步回归的光刻工艺窗口分析方法、装置和设备 (浙江大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119065211A

(43)申请公布日2024.12.03

(21)申请号202411422657.7

(22)申请日2024.10.11

(71)申请人浙江大学

地址310013浙江省杭州市西湖区余杭塘

路866号

申请人浙江大学杭州国际科创中心

浙江创芯集成电路有限公司

(72)发明人陈甫讯周国栋陈泽阳郑超怡

倪东高大为

(74)专利代理机构杭州华进联浙知识产权代理

有限公司33250

专利代理师何晓春

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

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