电子级超纯水检测与质量控制规范.docx

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电子级超纯水检测与质量控制规范

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一、范围 3

二、术语和定义 4

三、分类与等级 7

四、质量要求 9

五、检测项目与方法 12

六、采样原则 15

七、样品保存与运输 17

八、检测环境与设施 20

九、仪器设备管理 26

十、试剂与耗材控制 29

十一、检测人员要求 31

十二、检测流程 35

十三、电阻率检测 38

十四、总有机碳检测 42

十五、颗粒物检测 45

十六、微生物检测 48

十七、痕量离子检测 51

十八、结果计算与判定 53

十九、质量控制与保证

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