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2026年mem复试题及答案

一、填空题（每题2分，共20分）

1._______是MEMS技术的核心，它将微小的机械结构集成在硅片上。

2._______是一种常用的MEMS传感器，用于检测加速度和振动。

3._______是MEMS陀螺仪的工作原理，通过检测旋转时产生的科里奥利力来测量角速度。

4._______是MEMS麦克风的关键技术，用于将声波转换为电信号。

5._______是一种常用的MEMS执行器，用于微型机械系统的驱动。

6._______是MEMS制造过程中常用的光刻技术，用于在硅片上形成微结构。

7._______是MEMS器件的封装技术，用于保护微结构免受外界环境的影响。

8._______是MEMS器件的测试方法，用于评估其性能和可靠性。

9._______是MEMS技术在医疗领域的应用，用于制造微型医疗设备。

10._______是MEMS技术在汽车领域的应用，用于制造微型传感器和执行器。

二、判断题（每题2分，共20分）

1.MEMS技术是一种微电子机械系统技术。（正确）

2.MEMS传感器只能检测加速度，不能检测振动。（错误）

3.MEMS陀螺仪的工作原理是基于法拉第电磁感应定律。（错误）

4.MEMS麦克风的工作原理是基于压电效应。（正确）

5.MEMS执行器只能用于微型机械系统的驱动，不能用于其他应用。（错误）