GBT 46178-2025 电子级四(二甲氨基)钛 标准立项发展报告.docxVIP

电子级四(二甲氨基)钛标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeTetrakis(dimethylamide)titanium

摘要

随着集成电路制造技术向3纳米及以下节点演进，原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）工艺对高纯度前驱体材料的需求日益迫切。电子级四(二甲氨基)钛（TDMAT）作为制备氮化钛（TiN）薄膜的关键前驱体，广泛应用于扩散阻挡层、金属栅极及电极材料等领域。然而，长期以来国内缺乏统一的电子级TDMAT产品标准，导致产品质量参差不齐，严重制约了半导体材料的国产化进程。本标准（GB/T46178-2025）规定了电子级四(二甲氨基)钛的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容，适用于半导体制造用电子级TDMAT的生产与质量控制。标准的制定填补了国内空白，为电子级TDMAT的规范化生产提供了技术依据，对推动我国集成电路材料自主保障能力具有重要意义。本报告系统阐述了该标准的立项背景、编制过程、主要技术内容及实施意义，并对未来标准化工作方向进行了展望。

关键词：电子级四(二甲氨基)钛；原子层沉积；前驱体；氮化钛薄膜；半导体材料；国家标准；标准化

Keywords:Electronicgradetetrakis(dimethyla