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光学系统波前像差的测定 夏克-哈特曼光电测量法.pdfVIP

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  • 2026-11-05 发布于江苏
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光学系统波前像差的测定 夏克-哈特曼光电测量法.pdf

    目次

    1范围1

    2规范性引用文件1

    3术语和定义1

    4原理2

    夏克-哈特曼光电测量法2

    光学系统波前像差测量3

    光学零件的面形偏差的测量4

    5测量条件6

    测量环境6

    样品6

    6设备及装置6

    夏克-哈特曼波前像差测量仪6

    辅助镜头7

    7测量步骤7

    测量前准备7

    选择波前复原方法7

    对准8

    测量与数据的判定8

    8测量数据处理8

    9精密度8

    10测量报告9

    附录A（资料性）波前复原方法10

    附录B（资料性）Zernike多项式序列13

    I

    光学系统波前像差的测定

    夏克-哈特曼光电测量法

    1范围

    本文件描述了采用夏克-哈特

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