一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法.pdf

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机械设计与制造第5期

188MachineryDesignManufacture2010年5月

文章编号:1001—3997(2010)05—0188—03

一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法术

邓耀华0吴黎明张力锴陈景郁t苏振锐

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