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晶圆传递SCARA机器人结构设计及解耦控制

摘要

半导体产业在当今不断数字化智能化的时代真正意义上成为世界发展舞台上的核心角色。晶圆的市场需求也随着集成电路愈加广泛的应用而不断扩大，并有望在2021-2025年以5％的复合年增长率增长.6529万美元。半导体产业中尖端技术的结晶——芯片的加工生产过程贯穿着晶圆的传递，晶圆盒与工位，工位与工位之间。而随着对晶圆工艺精度和生产效率的要求的不断提高，晶圆传递机器人成为在晶圆加工系统中代替人手的重要工具。

本文在分析国内外晶圆传递机器人的发展现状的基础上，设计了采用直驱电机驱动的用于晶圆传递的SCARA型机器人，设计包括末端执行器、腕托、小