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洁净车间环境监测管理规范.docx

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    洁净车间环境监测管理规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、适用范围 5

    三、术语与定义 6

    四、管理职责 8

    五、监测区域划分 10

    六、监测项目与指标 12

    七、监测点位设置 15

    八、监测频次与时机 17

    九、监测方法与操作 20

    十、监测设备管理 23

    十一、人员与物料准备 25

    十二、悬浮粒子监测 28

    十三、微生物监测 31

    十四、温湿度与压差监测 35

    十五、数据记录与审核 38

    十六、结果判定与报告 42

    十七、异常处理与改进 44

    十八、档案管理 46

    十九、规范评

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