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洁净车间压差与温湿度控制规范.docx

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    洁净车间压差与温湿度控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、适用范围 5

    三、术语与定义 7

    四、管理职责 9

    五、洁净车间环境要求 11

    六、压差控制目标 14

    七、温湿度控制目标 16

    八、压差梯度设计 19

    九、送回风系统要求 21

    十、监测点位设置 23

    十一、监测仪器配置 27

    十二、数据采集与传输 29

    十三、运行参数设定 32

    十四、日常巡检要求 35

    十五、报警阈值与响应 38

    十六、偏差调查与处理 41

    十七、设备校准与维护 43

    十八、系统确认与验证 47

    十九

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