课件 4.1-1光栅位移传感器原理及应用.pptVIP

*********一、光栅的概念传感器技术图4-9光栅由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅，如图4-9所示。用玻璃制成的光栅称为透射光栅，它是在透明玻璃上刻出大量等宽等间距的平行刻痕，每条刻痕处是不透光的，而两刻痕之间是透光的。用不锈钢制成的光栅称为反射式光栅。光栅的刻痕密度一般为每毫米10、25、50、100、250线。刻痕之间的距离称为栅距W。设刻痕宽度为a，狭缝宽度为b，则一般情况下取传感器技术图4-9光栅一、光栅的概念传感器技术一、光栅的概念传感器技术一、光栅的概念二、光栅位移传感器的工作原理—莫尔条纹图4-10莫尔条纹莫尔条纹——如果把两块栅距W相等的光栅面平行安装，且让它们的刻痕之间有较小的夹角θ，这时光栅上会出现若干条明暗相间的条纹，这种条纹称莫尔条纹，如图4-10所示传感器技术莫尔条纹是光栅非重合部分光线透过而形成的亮带，它由一系列四棱形图案组成，图4-10中d-d线区所示。f-f线区则是由于光栅的遮光效应形成的。传感器技术图4-10莫尔条纹二、光栅位移传感器的工作原理—莫尔条纹传感器技术二、光栅位移传感