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- 2026-11-10 发布于北京
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15.2
/
M.
崔
15.2:用于AMOLED应用的绿色激光顺序横向(G‑SLS)工艺
、金、朴世勋、、、李、、金、金
韩国道龙仁市器兴区三星移动显示OLED研发
光束传输单元
本文提出了一种用于AMOLED应用的新型绿色激光顺序横向
(G‑SLS)工艺。G‑SLS利用高频脉冲绿色激光和二维掩
模图案调控晶化硅薄膜的微观结构。通过优化掩模图案,可在515nm激光
区域获得均匀的晶化硅薄膜微观结构。基于G‑SLS工艺处
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