AMOLED绿色激光顺序横向固化工艺研究.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约4.44万字
  • 约 8页
  • 2026-11-10 发布于北京
  • 举报

AMOLED绿色激光顺序横向固化工艺研究.pdf

15.2

/

M.

崔

15.2:用于AMOLED应用的绿色激光顺序横向(G‑SLS)工艺

、金、朴世勋、、、李、、金、金

韩国道龙仁市器兴区三星移动显示OLED研发

光束传输单元

本文提出了一种用于AMOLED应用的新型绿色激光顺序横向

(G‑SLS)工艺。G‑SLS利用高频脉冲绿色激光和二维掩

模图案调控晶化硅薄膜的微观结构。通过优化掩模图案,可在515nm激光

区域获得均匀的晶化硅薄膜微观结构。基于G‑SLS工艺处

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档