GB 50747 纯水系统回收水设计要点中文版 废水回用比例.docxVIP

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GB50747纯水系统回收水设计要点中文版废水回用比例

免责声明：本文为电子工业纯水与洁净厂房领域的工程技术资料，依据公开技术资料、通用工程实践与设备选型经验整理编写，供设计、施工、监理及运行管理人员作技术参考。文中所列水质指标、工艺参数、计算公式、材料性能与配置方案均对应特定边界条件，不构成对任何具体项目的设计结论。标准编号、版本状态与条文内容应以国家正式发布的标准文本为准，工程设计文件尚须经具备相应资质的设计单位校审并由注册工程师签章后方可实施。使用者应结合原水全分析报告、工艺用水清单、设备制造商技术文件及项目所在地法规要求独立核定；因直接套用本文内容导致的工程偏差、经济损失或第三方索赔，本文编写方不承担相应责任。

1回收水系统的边界与分级原则

1.1废水来源与水质分群

电子工业纯水站的废水按来源分为纯水站自产废水与工艺用水点排水两类。自产废水包括多介质过滤与活性炭反洗排水、超滤（UF）反洗与化学清洗废液、一级反渗透（RO）浓水、二级RO浓水、电去离子（EDI）浓水与极水、抛光混床正洗与再生废液、终端超滤反洗水、185nm紫外与在线仪表取样排水；工艺排水包括清洗机台排水、显影与刻蚀后冲洗水、化学机械抛光（CMP）后冲洗水。两类废水的水质差异可达数个数量级，混合收集会抬高后续处理难度，须先分群再定回用路径。原水水质波动、反洗周期与机台排液批次须