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GB50073-2024中文版洁净厂房设计规范

免责声明：本文为电子工业纯水与洁净厂房领域的工程技术资料，依据公开技术资料、通用工程实践与设备选型经验整理编写，供设计、施工、监理及运行管理人员作技术参考。文中所列水质指标、工艺参数、计算公式、材料性能与配置方案均对应特定边界条件，不构成对任何具体项目的设计结论。标准编号、版本状态与条文内容应以国家正式发布的标准文本为准，工程设计文件尚须经具备相应资质的设计单位校审并由注册工程师签章后方可实施。使用者应结合原水全分析报告、工艺用水清单、设备制造商技术文件及项目所在地法规要求独立核定；因直接套用本文内容导致的工程偏差、经济损失或第三方索赔，本文编写方不承担相应责任。

1洁净厂房设计的边界条件与目标分解

1.1设计输入与工艺需求

洁净厂房设计以工艺需求为输入，而不是以洁净度等级指标为输入。设计输入至少包括产品允许的粒子与微生物限值、工序温湿度窗口、设备散热量、工艺排气量、最大班人数与班次、物料与废弃物流量、建筑柱网与层高、可获得的机房面积、室外含尘浓度与气象极值、冷源热源与电力容量。先进制程还会提出气态分子污染物（AMC）、静电放电（ESD）与微振动的附加限值，这些限值不能由空气洁净度等级推导，须逐项独立给出。洁净厂房设计标准中关于洁净度分级与压差控制的技术要求给出通用下限，项目内控值应在此基础上结合工艺条件、