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超纯水系统管道清洗消毒流程图集中文版冲洗顺序

一、适用范围与系统边界

1.1适用对象与工程阶段

本图集规定半导体晶圆厂超纯水（UltrapureWater，缩写UPW）系统管道清洗、钝化与消毒的分期顺序、作业条件与放行判据，适用于新建、扩建及改造工程中主制备回路、抛光循环回路、分配主管网与各用水点支管的现场作业。系统边界自预处理产水箱出口法兰起，经初级纯水罐、抛光循环泵、紫外线氧化装置、超滤组件与终端过滤器，至分配回水主管及工艺设备取水点前隔离阀止。设备本体内部的化学清洗由设备制造厂技术文件另行规定，不在本图集覆盖范围内，但设备与管道连接的接口法兰隔离、盲板装拆与复位工序纳入统一作业票管理，避免形成未被清洗的盲端。

清洗分期以管道材质分区为基本单元。超纯水管道常用聚偏氟乙烯（PVDF）、全氟烷氧基树脂（PFA）、聚丙烯（PP）与316L电解抛光不锈钢（缩写316LEP管），不同材质对碱液浓度、酸洗温度与氧化剂接触时间的耐受性差异显著。若将不锈钢回路与塑料回路并入同一个升温碱洗循环，药液温度极易超出塑料管件与隔膜阀膜片的许用上限，诱发接头应力开裂与密封面渗漏。此类失效的返工需切除受影响管段重新预制与轨道焊接，工期与材料损失均较大，因此流程编排先按材质划分回路，再按污染等级划分阶段，二者交叉形成可执行的作业票序列。

图集与轨道自动氩弧焊工艺规程、不锈钢钝