BS ISO 23131-2-2026 椭圆偏振测量 第2部分：块体材料模型 标准立项发展报告.docxVIP

椭圆偏振测量第2部分：块体材料模型标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:EllipsometryPart2:BulkMaterialModel

摘要

椭圆偏振测量技术作为一项高灵敏度、非破坏性的光学表征手段，在半导体、光伏、生物医学及先进材料等领域发挥着不可替代的作用。随着纳米制造和薄膜技术的快速发展，对块体材料光学常数精确测量的需求日益迫切。BSISO23131-2-2026《椭圆偏振测量第2部分：块体材料模型》由国际标准化组织（ISO）发布，并于2026年2月28日正式实施。该标准针对椭圆偏振测量中块体材料模型的建立、参数定义、数据拟合及不确定度评估等核心环节提出了系统性规范。本报告基于该标准的立项背景、技术框架和行业需求，系统阐述了标准的主要内容、技术演进路径及其对相关产业的指导意义。报告认为，该标准的实施将有效提升块体材料光学表征的互操作性与可重复性，为跨行业材料数据库的构建和测量结果比对提供标准化基础，对推动精密光学测量领域的规范化发展具有重要价值。

关键词：椭圆偏振测量；块体材料模型；光学常数；标准化；薄膜表征；数据拟合；不确定度评估

Keywords:Ellipsometry;Bulkmaterialmodel;Opticalconstants;Standardization;Th