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- 2026-11-11 发布于四川
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第九周课程总结
光刻模组B11张德祥
引言
半导体制造实训课程的第九周，本周课程安排为ASML光刻机的厂商培训课程，课程内容较多
本总结摘选部分重点内容进行详述，课程内容多为理论内容，本周没有实操相关安排。
课程内容概述
ASML厂商培训课程主要介绍关于ASMLPAS5500/350C光刻机的硬件结构以及工作原理，本总
结摘选详述内容包括Wafercoordinate，WaferHandling,WaferSt
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