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- 2026-11-08 发布于浙江
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单元6真空技术
6.1真空的获得与测量
用来获得真空的装置被称为真空泵。目前真空泵可以分为外排型和内吸型两类,外排型是
将被抽容器内的气体排出泵体之外,如各种机械泵,汽流泵均属于此种类型;内吸型是把
被抽容器内的气体吸附在泵体内部,如,吸附泵、离子溅射泵和钛升华泵等。
任何真空泵都不可能得到绝对真空,即压强为零,而只能达到一个极限值,这个极限值
称为极限压强,用PM表示,它表明抽气过程进行足够长的时间后所能达到的最低压强,它
决定了该真空泵能否满足
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