CN119349499A 高性能单晶硅纳米晶片制造工艺 （广州纳微纳米技术有限公司） (1).pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119349499A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411418990.0B82Y40/00(2011.01)

(22)申请日2024.10.11

(71)申请人广州纳微纳米技术有限公司

地址510000广东省广州市白云区北太路

1633号广州民营科技园科兴路45号之

六栋五层01房

(72)发明人陈婷

(74)专利代理机构山东政岳专利代理事务所

(普通合伙)37474

专利代理师陈丹

(51)Int.Cl.

B81C1/00(2006.01)

C30B33/12(2006.01)