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刻蚀设备安全操作规程

一、适用范围与核心原则

刻蚀工序涉及强腐蚀性化学品、高压射频、高真空环境与有毒工艺尾气，是晶圆/面板制造环节安全风险等级最高的工序之一，本规程为所有接触刻蚀设备人员的强制操作准则，无例外豁免权限。

1.适用对象：包含ICP/CCP干法刻蚀机、槽式/单片湿法刻蚀机的当班操作人员、设备维护工程师、工艺工程师、外协施工人员、参观调研人员。

2.编制依据：《中华人民共和国安全生产法》《危险化学品安全管理条例》《工作场所有害因素职业接触限值第1部分：化学有害因素》（GBZ2.1-2019）、半导体制造行业通用安全技术规范。

3.核心准则：

?人员未通过对应机型安全考核并