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IEC 60749-28：2022 RLV：2022 半导体器件.机械和气候试验方法.第28部分静电放电（ESD）灵敏度试验.带电器件模型（CDM）.器件级标准立项发展报告.docx

IEC 60749-28：2022 RLV：2022 半导体器件.机械和气候试验方法.第28部分静电放电（ESD）灵敏度试验.带电器件模型（CDM）.器件级标准立项发展报告.docx

    IEC60749-28:2022RLV半导体器件静电放电（CDM）灵敏度试验标准立项发展报告

    StandardizationDevelopmentReport:SemiconductorDevices–MechanicalandClimaticTestMethods–Part28:ElectrostaticDischarge(ESD)SensitivityTesting–ChargedDeviceModel(CDM)–DeviceLevel

    摘要

    随着半导体器件特征尺寸持续缩小、集成度不断提高，静电放电（ESD）对器件可靠性的威胁日益突

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