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《光刻胶洁净生产与污染控制规范》.docx

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    《光刻胶洁净生产与污染控制规范》

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、术语与定义 4

    三、洁净生产环境要求 7

    四、生产设备设施要求 10

    五、原辅材料污染控制 13

    六、生产工艺污染管控 16

    七、人员进出洁净管理 18

    八、物料转运污染防控 20

    九、洁净服具使用规范 22

    十、空气净化系统运维 24

    十一、洁净室清洁消毒 26

    十二、微粒污染控制要求 30

    十三、金属离子污染控制 33

    十四、静电防护污染管控 35

    十五、废水污染处理要求 37

    十六、废气污染处理要求 39

    十七、固废污

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