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《光刻胶产品可靠性测试与评价方案》.docx

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    《光刻胶产品可靠性测试与评价方案》

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 2

    二、适用范围 4

    三、引用标准 6

    四、术语定义 7

    五、测试环境要求 10

    六、样品管理要求 14

    七、理化性能测试 16

    八、光刻工艺性能测试 19

    九、长期稳定性测试 22

    十、环境适应性测试 26

    十一、耐化学腐蚀测试 30

    十二、测试数据判定准则 32

    十三、可靠性评级方法 34

    十四、异常问题处理流程 37

    十五、报告编制规范 39

    十六、质量追溯要求 42

    十七、方案更新修订机制 44

    总则

    目的界定

    本方案旨

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