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《光刻胶配方开发与性能评价规范》.docx

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    《光刻胶配方开发与性能评价规范》

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、规范性引用文件 5

    三、术语和定义 8

    四、配方开发基本原则 11

    五、配方开发原材料要求 13

    六、配方设计通用要求 15

    七、正性光刻胶配方开发 19

    八、负性光刻胶配方开发 21

    九、KrF光刻胶配方开发 24

    十、ArF光刻胶配方开发 27

    十一、配方开发工艺适配要求 29

    十二、配方小试验证流程 32

    十三、配方中试放大要求 36

    十四、配方定型评审要求 39

    十五、性能评价基本原则 41

    十六、性能评价样品制备要求

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