原创力文档PAGE
《EUV光刻胶缺陷检测与分析规范》
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、适用范围 10
三、术语与定义 11
四、检测基本原则 14
五、缺陷分类规则 20
六、检测总体要求 23
七、检测前准备工作 26
八、样品制备规范 29
九、缺陷成像检测方法 31
十、缺陷三维表征方法 33
十一、缺陷成分分析方法 36
十二、缺陷成因初步判定 38
十三、缺陷定量分析要求 40
十四、缺陷溯源分析流程 42
十五、检测数据处理规范 46
十六、检测数据保存要求 49
十七、检测结果判定规则 52
文档评论（0）