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集成电路实验室设计规范.pdfVIP

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  • 约 75页
  • 2026-11-10 发布于广东
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集成电路实验室设计规范.pdf

    复旦大学

    南方科技大学

    上海科技大学

    益科德（上海）有限公司

    栗田工业（苏州）水处理有限公司

    上海正帆科技股份有限公司

    上海至纯洁净系统科技股份有限公司

    惠亚科技（苏州）有限公司

    主要起草人：暂略

    主要审查人：暂略

    1

    目次

    1总则2

    2术语3

    3基本规定5

    4工艺设计7

    4.1一般规定7

    4.2实验室布局9

    4.3实验室特殊需求12

    5总体规划16

    5.1位置选择16

    5.2总体布置16

    6建筑设计18

    6.1一般规定18

    6.2安全与防护20

    6.3室内环境22

    7结构24

    8空气净化和空调通风系统27

    8.1空气调节与净化27

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