集成电路电子设计自动化工具 曲线掩模数据存储格式标准化发展研究报告.docx

集成电路电子设计自动化工具曲线掩模数据存储格式标准化发展报告

StandardizationDevelopmentReportonCurvilinearMaskDataStorageFormatforIntegratedCircuitElectronicDesignAutomationTools

摘要

随着集成电路制造工艺向5nm及以下技术节点演进，传统曼哈顿掩模版图已难以满足先进光刻对图形精度的要求，曲线掩模技术应运而生。然而，曲线掩模数据的存储格式缺乏统一标准，导致电子设计自动化（EDA）工具链之间的数据交换效率低下、兼容性不足，严重制约了曲率掩模技术的产业化应用。本报告围绕全国集成电路标准化技术委员会归口管理的《集成电路电子设计自动化工具曲线掩模数据存储格式》行业标准制定项目（计划编号：2026-0096T-SJ），系统阐述了该标准的制定背景、技术框架、核心内容及行业意义。该标准为推荐性行业标准，由全芯智造技术有限公司牵头，联合中国电子技术标准化研究院、东方晶源微电子科技（北京）有限公司、广东工业大学、上海电子设计自动化发展促进会、北京华大九天科技股份有限公司等多家单位共同起草。标准聚焦曲线掩模数据在EDA工具链中的表示方法、存储结构和交换格式，旨在建立统一的数据描述规范，提升设计-制造协同效率，推动集成电路产业高质量发展。

关键词：曲