集成电路电子设计自动化工具 后OPC结果校验工具输出数据格式标准化发展研究报告.docx

集成电路电子设计自动化工具后OPC结果校验工具输出数据格式标准化发展报告

IntegratedCircuitElectronicDesignAutomationTools—PostOpticalProximityCorrection(OPC)VerificationSoftwareOutputDataStructureStandardizationDevelopmentReport

摘要

随着集成电路制造工艺向先进节点持续演进，光学邻近效应校正（OPC）技术已成为保障光刻图形保真度的关键环节。后OPC结果校验工具作为验证OPC修正效果的核心手段，其输出数据格式的规范化对提升设计-制造协同效率、降低数据交换成本具有重要意义。本报告基于工业和信息化部2025年第四批行业标准制修订计划（工信厅科函〔2025〕423号），围绕推荐性行业标准项目《集成电路电子设计自动化工具后OPC结果校验工具输出数据格式》（计划编号：2025-0838T-SJ）的制定工作，系统阐述了该标准的研制背景、技术框架、主要内容及行业价值。报告详细分析了后OPC校验工具输出数据格式在集成电路设计自动化流程中的关键作用，介绍了主要起草单位的技术积累与标准化工作基础，并对标准的实施前景进行了展望。研究表明，该标准的制定将有效填补国内在后OPC校验数据格式领域的标准空白，对推动集