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真空技术磁悬浮分子泵

Vacuumtechnology—Magneticallylevitatedturbomolecularpumps

（发布稿）

1.范围

本文件规定了磁悬浮分子泵（以下简称分子泵）的术语和定义、分类与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于以主动磁悬浮轴承支承转子、抽速为300L/s～5000L/s（对N?）的涡轮分子泵，包括带独立控制器的一体式与分体式结构。

本文件不适用于油润滑轴承分子泵、复合分子泵、牵引分子泵以及用于极高真空（低于1×10??Pa）的科研专用泵。

2.规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件

GB/T3163真空技术术语

GB/T3768声学声压法测定噪声源声功率级

GB/T6070真空法兰

GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件

GB/T19956真空技术真空泵性能测量方法

GB/T2423.1环境试验第2部分：试验方法试验A：低温