热致发声器的研究现状文献综述
19世纪中期,Braun首次将热致发声扬声器的概念公布于世[1]。随后,国内外科研人员对热致发声扬声器做了大量的理论分析和实验研究[19-24],并以热声材料的种类为基础,设计出各式各样的热致发声扬声器,提出了大量关于热声效应的理论模型。1917年,Arnold和Crandall制作了700nm的铂金薄膜,当通入交流电时,薄膜发热,薄膜表面产生温度振荡,薄膜附近的介质热胀冷缩,产生声信号[3]。不过,由于热声材料的局限性,薄膜产生的声信号较弱,因此并未得到外界太多的关注。1999年,Shinoda等将30nm厚的铝薄膜和10nm厚的多孔硅组合作为热声材料,在其两端
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