原创力文档硅基超透镜在众多领域拥有潜在应用价值但行
业发展仍面临一定挑战
硅基超透镜，指以硅为基底材料，利用超表面技术构建的平面光学透镜。硅基
超透镜具备多功能集成、轻量化、高设计自由度、超薄平面化以及与半导体工艺
兼容等特点，在消费电子、传感器、生物医学成像、航空航天、光通信等众多领
域拥有潜在应用价值。
硅基超透镜主要由基底材料、纳米结构层、辅助材料等组成。高纯度硅晶
圆为硅基超透镜场景基底材料，具备电学稳定性佳、工艺兼容性好等优势。经过
多年发展，我国硅晶圆技术不断进步，已有多家企业具备高纯度产品自主研发及
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