原创力文档文件编号：UHP-CALC-2026-012
高纯液体管道清洗置换与
颗粒残留设计计算书
——某电子级超纯液体输送系统清洗置换专项设计计算
项目名称：
超高纯液体（UPW／高纯化学品）输送系统工程
建设单位：
×××电子材料有限公司
设计阶段：
施工图设计
文件类型：
设计计算书
专业／子系统：
工艺（洁净流体输送）
版本／状态：
A版/报审
适用标准：
SEMIF57／SEMIF63／ASMEBPE／GB/T20801
编制
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日期
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审核
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日期
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批准
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日期
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×××工程
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