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晶圆表面处理技术培训课件
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一、晶圆表面处理技术概述 3
二、晶圆表面污染类型与危害 5
三、晶圆表面处理核心目标 9
四、机械法表面处理基本原理 12
五、化学法表面处理基本原理 16
六、物理法表面处理基本原理 19
七、晶圆机械研磨抛光工艺 21
八、晶圆湿法化学清洗工艺 26
九、晶圆干法等离子体处理工艺 31
十、表面处理关键工艺参数管控 33
十一、表面处理缺陷分析与防控 37
十二、不同材质晶圆差异化处理方案 41
十三、表面处理后检测与表征方法 46
十四、表面处理设备结构
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