洁净厂房气体管道施工指南(最新).docx

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洁净厂房气体管道施工指南(最新)

第一章总则

一、适用范围

1.本指南适用于电子制造、生物医药、食品加工、精密仪器生产等行业洁净厂房内所有气体管道的施工作业,涵盖普通压缩空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等通用气体管道,以及氢气、硅烷、氨气、磷化氢等特种高纯气体管道的全流程施工管控。

2.本指南覆盖洁净度等级ISO5级至ISO9级的洁净厂房区域内的气体管道施工,所有作业要求均匹配洁净环境的防尘、防污染管控标准,不适用于长距离埋地输送的厂区外围气体主管道施工。

3.涉及易燃易爆、有毒有害特种气体的管道施工,除满足本指南要求外,还需同步符合对应气体品类的专项安全施工规范要求,不得降低安全

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