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半导体制造车间5S管理制度
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一、总则 3
二、适用范围 4
三、管理职责 5
四、管理目标 8
五、整理管理 11
六、整顿管理 17
七、清扫管理 20
八、清洁管理 22
九、素养管理 24
十、洁净室环境管理 28
十一、设备与工具管理 30
十二、物料与化学品管理 33
十三、标识与目视化管理 35
十四、检查评价与整改 38
十五、绩效考核与持续改进 41
总则
目的与原则
适用范围
本制度适用于半导体制造车间内所有相关人员,涵盖生产班组、设备运维人员、质
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