洁净厂房场地清理防尘处理施工方法.docx

洁净厂房场地清理防尘处理施工方法

1适用范围与总体要求

洁净厂房的场地清理与防尘处理绝非普通的物业保洁作业，而是决定后续空调净化系统能否一次性通过调试、生产工艺能否达成良率目标的基础性工程。本施工方法适用于半导体、生物医药、光电显示等行业的洁净室（ISOClass1至ISOClass9）在内装收尾、设备搬入及系统调试阶段的现场清理与粉尘控制。

场地未彻底清理引发的风险具有极强的隐蔽性和传播性：建筑结构微缝或架空地板下残留的粉尘→空调机组（AHU）启动导致气流扰动→粉尘随送风气流悬浮并穿透初效过滤器→沉积在中效或高效过滤器（HEPA）滤芯深处→导致系统阻力剧增、洁净度不