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半导体制造职业健康安全手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、职业健康安全管理基本职责 4
二、半导体制造作业人员准入要求 6
三、有毒有害化学品作业防护规定 9
四、高纯气体与特种气体使用安全规范 12
五、洁净室环境作业健康管理要求 16
六、粉尘与颗粒物职业健康防护措施 18
七、辐射作业职业健康安全管控要求 20
八、高温与高湿作业环境防护规范 24
九、噪声与振动作业健康防护规定 26
十、静电防护与相关作业安全要求 29
十一、洁净室进入与作业安全管理规范 33
十二、设备维护与检修作业安全规程 36
十三
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